Investigation of the kinetics of MOCVD with a stagnation cell - Archive du Journal de Physique
Article Dans Une Revue Journal de Physique IV Proceedings Année : 1993

Investigation of the kinetics of MOCVD with a stagnation cell

O. Yu Gorbenko , W. Decker , G. Wahl
O. Yu Gorbenko
  • Fonction : Auteur
W. Decker
  • Fonction : Auteur
G. Wahl
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Résumé

Solutions of the mass transfer equation in the stagnation cell are described. It is shown that the application of the stagnation cell can be used for the determination of Das, distinguishing different types of process control, sensoring gas phase condensation and homogeneous nucleation. The results obtained with cylindrical cell for MOCVD of YBCO are discussed.

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jpa-00251360 , version 1 (04-02-2008)

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Citer

O. Yu Gorbenko, W. Decker, G. Wahl. Investigation of the kinetics of MOCVD with a stagnation cell. Journal de Physique IV Proceedings, 1993, 03 (C3), pp.C3-25-C3-33. ⟨10.1051/jp4:1993303⟩. ⟨jpa-00251360⟩

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